TY - JOUR AU - 李，燕西AU - 他，梁盟 - 颜，贺梦羽AU - 王，郑军PY - 2019 DA - 2019年9月2日TI - 5032747 VL - 先进材料与器件SP的微/纳米加工与表征 -2019 AB - SN - 1687-9503 UR - https://doi.org/10.1155/2019/5032747 DO - 10.1155 /五百○三万二千七百四十七分之二千○一十九JF - 中华纳米技术的PB - Hindawi出版KW - ER -