TY - Jour A2 - Rosii，Federico Au - Miyake，Shojiro Au - Wang，Mei Au - Kim，Jongduk Py - 2014 DA - 2014/05/11 Ti - 硅纳米制作由原子力显微镜的机械加工SP - 102404 VL -2014年AB - 本文评论了使用原子力显微镜（AFM）的硅纳米制剂工艺。特别地，它总结了通过金刚石尖端滑动的机械化学局部氧化的基于AFM的硅纳米制造，以及使用导电钻石尖端的机械化学局部氧化来总结了关于AFM的硅纳米制剂。显微镜三维制造主要依赖于蚀刻，沉积和光刻。因此，将特殊的重点放在纳米力学过程中，通过氢氧化钾溶液蚀刻和机械化学反应，以及机械反应，以及机械和电气方法。还讨论了几种重要的表面表征技术，包括扫描隧道显微镜和相关技术，例如扫描探针显微镜和AFM。SN - 1687-9503 UR - https://doi.org/10.1155/2014/102404 do - 10.1155 / 2014/102404 jf - 纳米技术Pb - Hindwi Publishing Corporation KW - ER -