TY -的A2 -钟,栓剑盟-拉赫曼,m . Tofizur盟——王郝AU -王,Jian-Ping PY - 2011 DA - 2011/11/01 TI -探索直接使用阳极氧化的铝作为Nanoimprint光刻制造磁性纳米结构的模具在大面积SP - 961630六世- 2011 AB -我们已经探讨了阳极氧化膜的直接使用氧化铝(氧化铝)捏造一个硅晶片的模具Nanoimprint光刻(零)。阳极氧化铝模被捏造超过10厘米²地区两个不同的孔隙直径 163年 ± 24 纳米和 73年 ± 7 nm。的一个关键挑战缺乏之间的粘结抗粘着自组装单层(SAM)和阳极氧化铝已经被修改的表面化学克服捏造的氧化铝薄SiO模具涂层₂层。然后应用常用silane-based自组装单层对这些SiO (SAM)₂涂层阳极氧化铝模具,取得成功的印记抵抗特征尺寸的柱子 172年 ± 25 纳米通过使用模具的孔径 163年 ± 24 nm。最后,我们取得了(001)面向L1₀FePt的结构点的直径 42 ± 4 纳米用氧化铝模孔直径 73年 ± 7 nm。垂直 H_c 未成形的和图案FePt约3.3 kOe和12 kOe,分别。这些结果表明,氧化铝模具可以用于NIL制作图案在大面积纳米结构。SN - 1687 - 9503你2011/961630 / 10.1155——https://doi.org/10.1155/2011/961630——摩根富林明-纳米技术杂志PB Hindawi出版公司KW - ER